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一种机体内智能隔离和洁净设备

基本信息

申请号 CN202010273049.X 申请日 -
公开（公告）号 CN111427241A 公开（公告）日 2020-07-17
申请公布号 CN111427241A 申请公布日 2020-07-17
分类号 G03F7/20;B08B5/02;B08B17/02 分类 -
发明人 李占国;谭璜;徐建 申请（专利权）人 弥费科技（上海）股份有限公司
代理机构 北京汇捷知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 弥费实业（上海）有限公司
地址 201306 上海市浦东新区泥城镇秋山路1775弄3-4号1楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种机体内智能隔离和洁净设备，包括光刻机和电控柜，其特征在于，所述光刻机内部主要包括风刀部件和不锈钢管部件，电控柜内部分别设有配电模块、液晶显示屏和气控盒。本发明，目的是为了防止经常加载的晶圆传送盒会累积影响到光刻机机体内部的温湿度和微尘数量，提高芯片制程的良品率。本发明隔绝晶圆传送盒和晶圆片对光刻机机体内部温湿度和微尘累积的同时，还利用负压清洁打开门的晶圆传送盒清洁机械臂每次吸取的晶圆片上下外表面，还会清洁机体内部。