一种覆铝陶瓷绝缘衬板的制备方法

基本信息

申请号 CN202110822694.7 申请日 -
公开(公告)号 CN113501725A 公开(公告)日 2021-10-15
申请公布号 CN113501725A 申请公布日 2021-10-15
分类号 C04B37/02(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I 分类 水泥;混凝土;人造石;陶瓷;耐火材料〔4〕;
发明人 欧阳鹏;贺贤汉;王斌;葛荘;张进;管鹏飞 申请(专利权)人 江苏富乐德半导体科技有限公司
代理机构 上海申浩律师事务所 代理人 赵建敏
地址 224200江苏省盐城市东台市城东新区鸿达路18号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及覆铝陶瓷绝缘衬板的制备方法,包括:(1)陶瓷金属化层制备,在基板表面形成均匀铝金属化层;(2)表面镀,在高纯铝箔或陶瓷基板表面形成均匀微米级镀层;(3)瞬间液相扩散焊接,陶瓷基板双面贴合高纯铝箔,瞬间液相扩散焊接后得覆铝陶瓷绝缘衬板。本发明采用高温浸润性烧结制备铝金属化层,获得高纯度及高键合强度的铝金属化层;采用表面镀工艺,在铝面均匀形成微米级镀层,作为瞬间液相扩散焊接的中间层,同时消除了铝表面的氧化层;采用瞬间液相扩散焊接成型,中间层溶解、扩散至铝箔和金属化层中,避免了界面层产生金属间化合物,保持高纯铝面成分,可降低覆铝陶瓷绝缘衬板制造成本,工艺可控,且良率高,适宜进行批量生产。