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一种氮化铝覆铝陶瓷衬板的制备方法

基本信息

申请号 CN202110494468.0 申请日 -
公开（公告）号 CN113213972A 公开（公告）日 2021-08-06
申请公布号 CN113213972A 申请公布日 2021-08-06
分类号 C04B41/87（2006.01）I;C04B37/02（2006.01）I 分类 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
发明人 欧阳鹏;贺贤汉;葛荘;王斌;张进;张恩荣 申请（专利权）人 江苏富乐德半导体科技有限公司
代理机构 上海申浩律师事务所 代理人 赵建敏
地址 224200江苏省盐城市东台市城东新区鸿达路18号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及半导体技术领域。一种氮化铝覆铝陶瓷衬板的制备方法，包括以下步骤：步骤一：氮化铝陶瓷表面改性层制备，制备表面改性溶液，将氮化铝陶瓷浸入到表面改性溶液中，充分润湿后烘干；步骤二：表面改性层固化，将氮化铝陶瓷置于马弗炉中烘烤，在氮化铝陶瓷表面形成均匀的固化改性层；步骤三：钎焊焊接，铝合金金属浆料制备，将浆料涂覆在具有固化改性层的氮化铝陶瓷上，烘干，再与高纯铝箔进行钎焊焊接，制备氮化铝覆铝陶瓷衬板。本发明克服了低温铝钎焊与氮化铝陶瓷润湿不良的难题，采用钎焊烧结成型，保持高纯铝面成分纯度，可以大大降低制造成本，且良率高，易于操作，易于成型，可批量生产。