一种改善陶瓷覆铜载板高温烧结后外观不良的方法
基本信息
| 申请号 | CN202110671462.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113471081A | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN113471081A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | H01L21/48（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李辛未;贺贤汉;蔡俊;李炎;阳强俊;马敬伟 | 申请（专利权）人 | 江苏富乐德半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海申浩律师事务所 | 代理人 | 赵建敏 |
| 地址 | 224200江苏省盐城市东台市城东新区鸿达路18号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及改善陶瓷覆铜载板高温烧结后外观不良的方法，包括：A、微蚀，采用硫酸与过硫酸钠混合液对陶瓷覆铜载板进行微蚀并进行溢流水洗，硫酸的浓度为18.4～36.8g/L，过硫酸钠的浓度为20～40g/L；B、喷砂，采用Al2O3质量百分比为10～20％的金刚砂悬浊液作为喷砂液，上下喷淋，喷砂角度为90°，喷砂压力为2kg/cm，喷砂距离为8～12mm，铜基体经过喷砂处理后平均厚度减少0.5‑0.8μm；C、水洗烘干，依次采用回收水洗、溢流水洗、加压水洗、超声波浸洗、HF水洗、摇摆高压水洗、加压水洗、DI水洗、干板组合进行水洗和烘干，冷却后取出；D、烧结再结晶，将步骤C处理后得到的产品置于烧结炉内，并通入氮气和空气混合气，控制炉内氧分压在8～15ppm，在1075～1083℃条件下烧结，使铜片表面再结晶。 |
