一种DPC覆铜陶瓷基板表面金属化方法

基本信息

申请号 CN202110308168.9 申请日 -
公开(公告)号 CN113079646A 公开(公告)日 2021-07-06
申请公布号 CN113079646A 申请公布日 2021-07-06
分类号 H05K3/02(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I 分类 其他类目不包含的电技术;
发明人 王斌;贺贤汉;葛荘;欧阳鹏;孙泉 申请(专利权)人 江苏富乐德半导体科技有限公司
代理机构 上海申浩律师事务所 代理人 赵建敏
地址 224200江苏省盐城市东台市城东新区鸿达路18号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种DPC覆铜陶瓷基板表面金属化方法,A、基板前处理:对陶瓷基板进行除油清洗、酸性微蚀、热风烘干;B、基板表面摩擦焊:在旋转摩擦焊机上进行,采用钛合金高温搅拌头,在惰性气体气氛下,通过高速旋转将钛合金涂焊在基板表面。其中,旋转摩擦焊机中轴肩直径为10‑20mm,旋转针为直径3‑8mm带螺纹的锥形销,旋转摩擦焊焊接速度为600‑900mm/min,搅拌头旋转速度为800‑1200r/min,旋转头倾角为1.5‑5°,惰性气体流量为200~2000mL/min;C、表面化学镀铜:基板依次经过硫酸钠‑硫酸腐蚀体系腐蚀、硫酸和盐酸酸化后进行基板贴膜,而后在硫酸铜‑硫酸体系化学镀液中表面镀铜,并纯水超声浸洗;D、超声清洗、烘干。