一种减少DCB产品皱皮疙瘩不良的方法

基本信息

申请号 CN202110284920.0 申请日 -
公开(公告)号 CN113224008A 公开(公告)日 2021-08-06
申请公布号 CN113224008A 申请公布日 2021-08-06
分类号 H01L23/14(2006.01)I;H01L23/15(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 蔡俊;贺贤汉;马敬伟;陈元华 申请(专利权)人 江苏富乐德半导体科技有限公司
代理机构 上海申浩律师事务所 代理人 赵建敏
地址 224200江苏省盐城市东台市城东新区鸿达路18号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种减少DCB产品皱皮疙瘩不良的方法,包括如下步骤:A、研磨:采用刷辊对带有皱皮疙瘩的一面进行研磨,速度设置为0.8~1.0m/min,研磨量控制在7~12μm范围内,还原原始铜片表面的光亮,而后经纯水超声清洗去除研磨下来的异物;B、烧结再结晶:将步骤A处理后得到的产品置于烧结炉内,并通入氮气和氧气混合气,在1075~1083℃条件下烧结,使铜片表面再结晶。研磨可以完全去除表面的色差,绝大多数的疙瘩皱皮缺陷,回归原始铜表面的光洁;再结晶实现产品晶粒和粗糙度与正常产品相当,焊接和打线性能和正常产品相当,一定程度上提升良率,降低了产品报废率。