厚度平面度段差检测装置、系统及方法

基本信息

申请号 CN201910168722.0 申请日 -
公开(公告)号 CN109682310A 公开(公告)日 2019-04-26
申请公布号 CN109682310A 申请公布日 2019-04-26
分类号 G01B11/02(2006.01)I; G01B11/06(2006.01)I; G01B11/30(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 陈业; 吴落得; 贺平; 李均华; 黄细刚 申请(专利权)人 深圳佳视德智能科技有限公司
代理机构 深圳市深弘广联知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 深圳佰视特光电科技有限公司
地址 518000 广东省深圳市宝安区松岗街道潭头社区芙蓉路9号二期5号厂房201、101、202号房
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了厚度平面度段差检测装置、系统及方法,该装置包括:工作台;双层移动平台,双层移动平台包括第一级移动平台和第二级移动平台;检测组件,检测组件包括安装架、第一光谱共焦检测装置、第二光谱共焦检测装置,安装架安装在第二级移动平台上,第一光谱共焦检测装置和第二光谱共焦检测装置在安装架上呈上下对射安装,使被检测对象位于第一光谱共焦检测装置和第二光谱共焦检测装置之间的间隙内。与现有技术相比,不但精度高,而且便于引入存储、分析模块便于实现智能化检测,可实现对任何材质产品进行精准的点、线、面扫描,得到产品的厚度、平面度、段差。