一种连体真空镀膜机柔性传输装置
基本信息
| 申请号 | CN201822189361.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209260196U | 公开（公告）日 | 2019-08-16 |
| 申请公布号 | CN209260196U | 申请公布日 | 2019-08-16 |
| 分类号 | C23C14/56 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 赵文强;尹忠乐 | 申请（专利权）人 | 佛山市南海区晶鼎泰智能科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 528000 广东省佛山市南海区狮山镇狮中村中西工业区梁锦平的厂房自编1号(住所申报) | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种连体真空镀膜机柔性传输装置，包括工件装炉室、镀膜室、工件出炉室、过渡区、靶材,所述工件装炉室的一侧设有所述镀膜室，所述镀膜室的一侧设有所述工件出炉室，所述镀膜室与所述工件装炉室和所述工件出炉室之间均设有所述过渡区，所述工件装炉室、所述镀膜室和所述工件出炉室上均设有所述靶材。设备的整体运行稳定性大大提高；因为工件不再和转架一起整体平移，只需要单杆移动，真空室之间的过渡门尺寸就不需要那么大，只需要整体平移方式的一半大小就可以满足。成膜效率大大提升；各位位置的靶基距都完全一致，膜层沉积速率的一致性和膜层性能，都较整体平移方式有很大改善。 |
