板带的限位防摆动机构
基本信息
| 申请号 | CN201922130982.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211570762U | 公开（公告）日 | 2020-09-25 |
| 申请公布号 | CN211570762U | 申请公布日 | 2020-09-25 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 尹忠乐;朱念青 | 申请（专利权）人 | 佛山市南海区晶鼎泰智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 | 代理人 | 佛山市南海区晶鼎泰智能科技有限公司 |
| 地址 | 528225广东省佛山市南海区狮山镇狮中村贝奇科技工业园自编1号(住所申报) | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型板带的限位防摆动机构，包括工件杆、下板带、板带固定杆、下板带限位轨道、限位轴承、限位件增高垫，下板带限位轨道呈圆弧形设置，下板带限位轨道上表面设有轨道凹槽，下板带设于轨道凹槽内，下板带呈圆弧形长条片状设置，限位轴承设于下板带两端，工件杆的底端设于下板带上，板带固定杆固定设于下板带上，限位件增高垫设于下板带限位轨道下方，限位件增高垫设有多组，多组限位件增高垫均匀分布在下板带限位轨道下方。本实用新型属于镀膜设备技术领域，具体是一种防止镀膜工件悬挂杆的下板带在围绕靶材公转时摆动，保证工件杆上的产品与靶材的距离保持不变，从而提高成膜均匀性的板带的限位防摆动机构。 |
