一种蒸镀复合金属膜层用的子母坩埚装置
基本信息
| 申请号 | CN201710695440.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107267923B | 公开（公告）日 | 2019-05-17 |
| 申请公布号 | CN107267923B | 申请公布日 | 2019-05-17 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 应世强; 尹忠乐; 李术杰 | 申请（专利权）人 | 佛山市南海区晶鼎泰智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州科粤专利商标代理有限公司 | 代理人 | 佛山市南海区晶鼎泰智能科技有限公司 |
| 地址 | 528200 广东省佛山市南海区狮山镇狮中村贝奇科技工业园自编1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明开发了一种蒸镀复合金属膜层用的子母坩埚装置，包括基座，其特征是：在基座上设有母坩埚和若干个子坩埚模块；所述基座上预留有母坩埚安装槽，所述母坩埚安装在所述母坩埚安装槽中；所述的若干个子坩埚模块是围绕母坩埚的外轮廓均布在基座上的；每个所述的子坩埚模块包括子坩埚底座、子坩埚、电子枪和驱动缸；所述子坩埚底座铰接在所述基座的表面；所述子坩埚和电子枪均固定在所述子坩埚底座表面，所述驱动缸的推杆连接在所述子坩埚的底部；所述子坩埚可相对基座在母坩埚的外周上方翻转；每个所述的子坩埚与母坩埚之间均设有倾斜于基座的表面设置的引流槽。该发明具有制备高效、膜层均匀和人成本低等优点。 |
