一种高功率长波长垂直腔面发射激光器阵列及制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202010112797.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111293583B | 公开（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申请公布号 | CN111293583B | 申请公布日 | 2021-06-01 |
| 分类号 | H01S5/42（2006.01）I;H01S5/024（2006.01）I;H01S5/042（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张星 | 申请（专利权）人 | 长春中科长光时空光电技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘新雷 |
| 地址 | 130000吉林省长春市北湖科技开发区明溪路1759号E305室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种高功率长波长垂直腔面发射激光器列阵以及制作方法，通过采用在外延晶片上设置散热层，在P型DBR反射镜上沉积P面金属散热电极层，提高发光单元以及阵列的散热能力，提高使用可靠性以及最大输出功率，提高了单个发光单元的性能以及阵列性能。 |
