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一种垂直腔面发射激光器及其制作方法

基本信息

申请号 CN202010448876.8 申请日 -
公开（公告）号 CN111564755A 公开（公告）日 2020-08-21
申请公布号 CN111564755A 申请公布日 2020-08-21
分类号 H01S5/183(2006.01)I 分类 -
发明人 张星 申请（专利权）人 长春中科长光时空光电技术有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 长春中科长光时空光电技术有限公司
地址 130000吉林省长春市北湖科技开发区明溪路1759号E305室
法律状态 -

摘要

摘要 本申请公开了一种垂直腔面发射激光器，包括第一电极；位于第一电极上表面的衬底；位于衬底上表面的外延层，外延层包括位于衬底上表面的第一反射层和位于第一反射层上表面的台面，且台面的上表面具有凹透镜表面，台面包括由下至上依次叠加的有源层、氧化层、第二反射层；位于台面的侧面、台面的上表面预设区域、第一反射层上表面未被台面覆盖区域的绝缘层；位于绝缘层外表面的第二电极。台面表面具有凹透镜表面，即出光窗口处具有凹透镜表面，利用凹透镜表面实现对出光范围的拓宽，另外，凹透镜表面直接位于垂直腔面发射激光器的出光窗口，无需额外设置光学元件，降低结构复杂性，也不会造成体积变大。本申请还提供一种具有上述优点的制作方法。