首页/ 长春中科长光时空光电技术有限公司/ 专利详情

一种垂直腔面发射激光器、列阵及制作方法

基本信息

申请号 CN202010112798.4 申请日 -
公开（公告）号 CN111293585B 公开（公告）日 2021-08-17
申请公布号 CN111293585B 申请公布日 2021-08-17
分类号 H01S5/183;H01S5/323 分类 基本电气元件;
发明人 张星 申请（专利权）人 长春中科长光时空光电技术有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 刘新雷
地址 130000 吉林省长春市北湖科技开发区明溪路1759号E305室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种垂直腔面发射激光器、阵列以及制作方法，垂直腔面发射激光器制作方法。将泵浦光源插入发射光源谐振腔中，利用GaAs材料实现短波800nm至1100nm的泵浦光发射，泵浦光水平振荡；垂直耦合器结构，具备将泵浦光耦合至垂直表面输出及释放InP缓冲层在GaAs上异质外延过程中的晶格失配应力两个方面的作用，从结构上完全避免了传统的InP基长波长垂直腔面发射激光器面临的DBR反射镜折射率差小、热阻大、缺乏有效的光电限制结构，P型InP层电阻较大、发热严重等问题，提高了器件的性能以及可靠性。