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一种靶材绑定用靶管金属化装置

基本信息

申请号	CN201921738190.1	申请日	-
公开（公告）号	CN210711720U	公开（公告）日	2020-06-09
申请公布号	CN210711720U	申请公布日	2020-06-09
分类号	C23C14/34(2006.01)I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	陈标;刘所心;马超宁;段宇龙	申请（专利权）人	洛阳晶联光电材料有限责任公司
代理机构	柳州市荣久专利商标事务所（普通合伙）	代理人	韦微
地址	471100河南省洛阳市洛阳空港产业集聚区隆华大道66号（洛阳市孟津县麻屯镇）
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及一种靶材绑定用靶管金属化装置，包括超声波发生器和电机，还包括有旋转套、外加热套、丝杆和滑套，所述外加热套连接在旋转套内，所述电机包括用于带动旋转套旋转的电机Ⅰ和用于带动丝杆旋转的电机Ⅱ，所述丝杆位于外加热套内，丝杆一端通过轴承安装在旋转套上，另一端通过连接件与电机Ⅱ的转轴连接，所述滑套套装在丝杆上，滑套与丝杆通过螺纹连接，所述超声波发生器通过连杆连接在滑套的下方；所述旋转套通过连接套与电机Ⅰ的转轴连接。本实用新型涂铟厚度一致，自动化水平高，有效解决了人工涂铟方式中存在的涂铟不均匀，工人劳动强度大，对工人熟练程度要求高的情况，从而有效的提高工作效率，提高靶材绑定贴合率以及贴合强度。