一种ITO旋转靶材成型外圆固定装置
基本信息
| 申请号 | CN202122788203.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216473456U | 公开（公告）日 | 2022-05-10 |
| 申请公布号 | CN216473456U | 申请公布日 | 2022-05-10 |
| 分类号 | C23C14/34（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张启华;于林林;代立鑫 | 申请（专利权）人 | 洛阳晶联光电材料有限责任公司 |
| 代理机构 | 洛阳公信联创知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 471000河南省洛阳市洛阳空港产业集聚区隆华大道66号（洛阳市孟津县麻屯镇） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种ITO旋转靶材成型外圆固定装置，包括：第一固定套和多个第二固定套，第一固定套由两个第一半圆壳体通过第一连接件对接而成，第一半圆壳体外侧竖直设有多个第一固定杆，第一固定杆通过连接杆与第一半圆壳体外壁连接，第一固定杆下端设有支撑座，多个第二固定套从上到下依次设置在第一固定套上端，第二固定套与第一固定套内径相同，第二固定套由两个第二半圆壳体通过第二连接件对接而成。本申请结构简单，操作方便，结构简单，制作容易，能够提高超长的ITO旋转靶材成型粉料填充的均匀性。 |
