一种靶材绑定用靶管加热装置
基本信息
| 申请号 | CN202122882529.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216491108U | 公开（公告）日 | 2022-05-10 |
| 申请公布号 | CN216491108U | 申请公布日 | 2022-05-10 |
| 分类号 | H05B3/06（2006.01）I;H05B1/00（2006.01）I | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 发明人 | 刘所心;马超宁;于林林;杨兴伟;杨元虎;史向阳 | 申请（专利权）人 | 洛阳晶联光电材料有限责任公司 |
| 代理机构 | 洛阳公信联创知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 471000河南省洛阳市洛阳空港产业集聚区隆华大道66号（洛阳市孟津县麻屯镇） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种靶材绑定用靶管加热装置，包括：底座、固定套、三个温度传感器和三个温度控制器，固定套竖直设置在底座上，固定套外壁上从上到下依次间隔有上加热组件、中加热组件和下加热组件，三个温度传感器从上到下依次间隔设置在固定套外壁上，用于分别检测上加热组件、中加热组件和下加热组件的温度；三个温度控制器分别与上加热组件、中加热组件和下加热组件电性连接，三个温度控制器分别与三个温度传感器电性连接。本申请结构简单，操作方便，不容易出现破损，不影响生产的连续性，靶管表面温度均匀性好。 |
