一种ITO靶材解绑装置
基本信息
| 申请号 | CN201920475130.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209957865U | 公开（公告）日 | 2020-01-17 |
| 申请公布号 | CN209957865U | 申请公布日 | 2020-01-17 |
| 分类号 | C22B7/00;C22B58/00;C23C14/34 | 分类 | 冶金；黑色或有色金属合金；合金或有色金属的处理; |
| 发明人 | 姚远;杜宝珩;郭朋 | 申请（专利权）人 | 洛阳晶联光电材料有限责任公司 |
| 代理机构 | 柳州市荣久专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 韦微 |
| 地址 | 471100 河南省洛阳市洛阳空港产业集聚区隆华大道66号（洛阳市孟津县麻屯镇） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种ITO靶材解绑装置，包括工作平台、二甲基硅油油浴装置、靶材支撑架、背板支撑架、刮铟板和背板夹持器，所述二甲基硅油油浴装置安装在工作平台上，靶材支撑架和背板支撑架安装在二甲基硅油油浴装置内，二甲基硅油油浴装置相对的两侧边缘顶端分别设置有滑道，刮铟板活动安装在其中一个滑道内，背板夹持器活动安装在另一个滑道内。与现有技术相比较，本实用新型的优点是：使用二甲基硅油对残靶各面进行加热，使焊料层（铟层）逐渐融化，从而使ITO靶材与铜背板脱离，此解绑方式一方面可以保证ITO残靶的完整性；另一方面，使贵重金属铟能够得到回收，一定程度上节约了生产成本，同时过滤后的二甲基硅油也可以重复再利用。 |
