一种旋转靶材表面打磨装置
基本信息
申请号 | CN202021120294.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN213053964U | 公开(公告)日 | 2021-04-27 |
申请公布号 | CN213053964U | 申请公布日 | 2021-04-27 |
分类号 | B24B5/04;B24B41/06;B24B47/12;B24B27/033;B24B47/22 | 分类 | 磨削;抛光; |
发明人 | 陈标;郭朋;刘所心 | 申请(专利权)人 | 洛阳晶联光电材料有限责任公司 |
代理机构 | 柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙) | 代理人 | 韦微 |
地址 | 471100 河南省洛阳市洛阳空港产业集聚区隆华大道66号(洛阳市孟津县麻屯镇) | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及一种旋转靶材表面打磨装置,包括管驱动电机、打磨组件、打磨组件驱动机构、背管内撑、背管顶杆和顶杆移动支撑组件,管驱动电机与背管内撑连接,顶杆移动支撑组件包括支撑座、滑道和滑块,背管顶杆与滑块内的微调组件连接,打磨组件包括滑动平台、滑轨、磨轮驱动电机和柔性磨轮,打磨组件驱动机构包括支撑架、两根丝杆导轨和与其中一根丝杆导轨连接的丝杆导轨驱动电机,滑动平台安装在两根丝杆导轨上,背管内撑、背管顶杆分别位于丝杆导轨的两端上方。本实用新型能够有效清理打磨旋转靶材表面残铟、残胶和结瘤,与现有人工清理的方式相比,既保证了的产品质量,又降低了工人劳动强度,提高生产效率。 |
