一种刻蚀机装片治具
基本信息
| 申请号 | CN202021873313.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212934587U | 公开（公告）日 | 2021-04-09 |
| 申请公布号 | CN212934587U | 申请公布日 | 2021-04-09 |
| 分类号 | H01L21/687;H01L21/677;H01L21/67 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 朱伟明;彭艳亮;陈亮;闫仕波;史伟言;李昌勋;刘建哲;徐良 | 申请（专利权）人 | 黄山博蓝特半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 芜湖众汇知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 曹宏筠 |
| 地址 | 245000 安徽省黄山市黄山九龙低碳经济园区翠薇北路66号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种刻蚀机装片治具，包括操作台，固定设置在操作台上的支撑框，所述支撑框上设置有可翻转的装片托盘定位框，托盘定位框上设置有可打开的用于压紧晶片的上盖，还设置有可上下移动的支撑底托，支撑底托作用在装片托盘上且可转动。通过本实用新型能够实现晶片的快速定位安装，且结构简单，操作方便，装配稳定性好，可广泛应用于刻蚀机晶片定位安装领域。 |
