一种刻蚀机线圈调整结构
基本信息
| 申请号 | CN202022293567.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213691956U | 公开（公告）日 | 2021-07-13 |
| 申请公布号 | CN213691956U | 申请公布日 | 2021-07-13 |
| 分类号 | H01J37/32（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L33/20（2010.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 朱伟明;陈亮;史伟言;徐良;刘建哲;李京波 | 申请（专利权）人 | 黄山博蓝特半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 芜湖众汇知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 曹宏筠 |
| 地址 | 245000安徽省黄山市屯溪区九龙低碳经济园区翠薇北路66号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种刻蚀机线圈调整结构，包括刻蚀机工作台，设置在刻蚀机工作台上的线圈；所述线圈在刻蚀机工作台上呈开口环状布置，所述刻蚀机工作台上沿圆周方向设置有一圈可沿刻蚀机工作台半径方向前后移动的调整杆，所述线圈靠压在调整杆的内侧面上，所述刻蚀机工作台位于每个调整杆的一侧设置有调节座，所述调节座上设置有转动丝杆，所述调整杆上设置有与转动丝杆相适配的丝杆螺母。本实用新型能够准确对线圈的位置进行调整，且调整方便，准确度高，可广泛应用于刻蚀机线圈调整领域。 |
