一种LED图形化衬底用全自动目检机载台
基本信息
| 申请号 | CN202023202339.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213519911U | 公开（公告）日 | 2021-06-22 |
| 申请公布号 | CN213519911U | 申请公布日 | 2021-06-22 |
| 分类号 | H01L21/68（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L33/22（2010.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 朱伟明;李强;周世和;刘建哲;张磊;祝小林;史伟言;李昌勋 | 申请（专利权）人 | 黄山博蓝特半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 芜湖众汇知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 曹宏筠 |
| 地址 | 245000安徽省黄山市屯溪区九龙低碳经济园区翠薇北路66号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种LED图形化衬底用全自动目检机载台，包括载台本体，设置在载台本体上的一组真空孔；所述载台本体上设置有一组可上下移动的支撑柱，还设置有一组呈放射性延伸的限位调节槽，每个限位调节槽内设置有一个可在限位调节槽内来回移动的限位圆台。本实用新型能够保证晶片放置在载台上的位置准确性，同时，能够保证在工作和移动时晶片不会偏移，并保证载台和晶片的清洁性，可广泛应用于LED衬底制造技术领域。 |
