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一种用于干法刻蚀图形化蓝宝石衬底的托盘结构

基本信息

申请号 CN202021628683.2 申请日 -
公开（公告）号 CN212517142U 公开（公告）日 2021-02-09
申请公布号 CN212517142U 申请公布日 2021-02-09
分类号 H01L21/673(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 彭艳亮;李昌勋;刘建哲;徐良;李京波;夏建白 申请（专利权）人 黄山博蓝特半导体科技有限公司
代理机构 芜湖众汇知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 曹宏筠
地址 245000安徽省黄山市黄山九龙低碳经济园区翠薇北路66号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于干法刻蚀图形化蓝宝石衬底的托盘结构，包括托盘和盖在托盘上的上盖；所述托盘上设置有一组与待加工晶片相适配的晶片定位凹槽，还设置有圆环，所述圆环的内圈上设置有与托盘相适配的台阶，所述托盘置于台阶上，且在圆环的内壁与托盘的外壁间设置有密封圈；所述托盘为碳化硅材料制得，所述上盖和圆环为铝材制得。本实用新型可无需借助摆片工装，即可实现快速装片，简化了生产操作流程，提升了生产效率，也降低晶片划伤的风险。且晶片下方无需放置密封圈，托盘下方无需设置通氦气的孔，可减少氦气泄露的发生，可广泛应用于LED衬底制造领域。