邻重氮萘醌正性光致抗蚀剂的生产装置
基本信息
| 申请号 | CN201711293852.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108241261A | 公开（公告）日 | 2018-07-03 |
| 申请公布号 | CN108241261A | 申请公布日 | 2018-07-03 |
| 分类号 | G03F7/039;G03F7/022;C08G8/12;C07C303/02;C07C309/88 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 彭响亮 | 申请（专利权）人 | 成都盛金缘餐饮文化传播有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 610041 四川省成都市高新区天府大道中段177号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 邻重氮萘醌正性光致抗蚀剂的生产装置，主要包括：硝化釜(D101)、重氮化釜(D102)、反应釜(D103)、溶解釜(D104)、脱水精制(D105)、反应釜(D106)、粗滤器(L101)、精滤器(L102)、储罐(F101～F106)、泵(J101～J106)，其中，反应釜(D103)分别与重氮化釜(D102)、溶解釜(D104)相连接，泵(J103)分别与储罐(F103)、重氮化釜(D102)相连接，其中，反应釜(D103)公称容积700‑800L。 |
