航天火工分离用石墨烯二硫化钼多层耐磨涂层及制备方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

航天火工分离用石墨烯二硫化钼多层耐磨涂层及制备方法

基本信息

申请号	CN201810996787.X	申请日	-
公开（公告）号	CN109136924B	公开（公告）日	2021-08-17
申请公布号	CN109136924B	申请公布日	2021-08-17
分类号	C23C28/04;C23C14/58;C23C16/56	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	王贺;易培云;黎焕明;彭林法;来新民	申请（专利权）人	首都航天机械有限公司
代理机构	上海科盛知识产权代理有限公司	代理人	蒋亮珠
地址	100076 北京市丰台区南苑警备东路2号
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种航天火工分离用石墨烯二硫化钼多层耐磨涂层及其制备方法，该涂层包括基底上的多层交替涂层，多层交替涂层由若干个涂层单元组成，每个涂层单元由一层二硫化钼层(3)和一层石墨烯层(4)交替沉积而成，其中每个涂层单元内二硫化钼层的厚度为0.65‑100nm，石墨烯层的厚度为0.34‑20nm，涂层总厚度为10‑2000nm。涂层制备过程包括：基底的预处理；多层涂层的沉积；涂层的后处理。其中沉积涂层单元时进行金属、非金属掺杂，或在沉积每两个涂层单元之间引入稀有气体进行刻蚀。与现有技术相比，本发明涂层结合两种材料的摩擦磨损性能，通过沉积工艺调整增加涂层的致密性，制备出具有优异耐磨性能的多层交替涂层，可作为航天火工分离装置的固体润滑涂层。