硝酸型蚀刻液

基本信息

申请号 CN201811067534.0 申请日 -
公开(公告)号 CN110894607A 公开(公告)日 2020-03-20
申请公布号 CN110894607A 申请公布日 2020-03-20
分类号 C23F1/18 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 戴泽民;杨国雄;苑伟东 申请(专利权)人 深圳市中南环保科技控股有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 518000 广东省深圳市罗湖区清水河街道金湖路36号银湖科研大楼三楼(A)
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种硝酸型蚀刻液,包括:硝酸,氢离子补充剂、溶铜促进剂、阴极去极化剂、烟雾抑制剂和水。本发明的有益效果是:解决了现有的蚀刻液产生污染的氯化铜的问题,实现零排放的清洁生产;蚀刻速度快,蚀刻槽液置換次数少,作业温度低,节能增效。