环保型高效碱性蚀刻液

基本信息

申请号 CN201811264427.7 申请日 -
公开(公告)号 CN109136929A 公开(公告)日 2019-01-04
申请公布号 CN109136929A 申请公布日 2019-01-04
分类号 C23F1/34 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 戴泽民;杨国雄;苑伟东 申请(专利权)人 深圳市中南环保科技控股有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 518000 广东省深圳市罗湖区清水河街道金湖路36号银湖科研大楼三楼(A)
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种环保型高效碱性蚀刻液,溶液配重比为:氨水400~600ml/L;氯化铵,240‑260g/L;添加剂小于1‰;其余为水;其中添加剂为无机化合物复配而成,溶液浓度小于1‰。本发明的有益效果是:蚀刻速度提高近15%,沉淀小、侧蚀现象少,不仅能够提高蚀刻速度和溶铜量,还可以有效保障蚀刻质量,尤其是采用“加温方式”配制添加剂,从而大大提高催化反应效果。后期对“提铜”后的废液进行再生处理后可以保证其效果不低于新鲜“子液”功效的85%以上的功效。