SS-OCT间距测量中利用伺服系统谐振消镜像的方法及其系统

基本信息

申请号 CN201910644820.7 申请日 -
公开(公告)号 CN110530276B 公开(公告)日 2021-07-13
申请公布号 CN110530276B 申请公布日 2021-07-13
分类号 G01B11/14 分类 测量;测试;
发明人 史国华;王俊翔;冯长有;邢利娜;王冬月;潘道伟;樊金宇 申请(专利权)人 长春奥普光电技术股份有限公司
代理机构 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 代理人 韩飞
地址 215163 江苏省苏州市高新区科技城科灵路88号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种SS‑OCT间距测量中利用伺服系统谐振消镜像的方法及其系统,本发明的方法利用伺服电机引起的谐振产生相位的正弦振动,并结合一种任意相位的消镜像算法实现了镜像消除。本发明的系统包括扫频光源、环形器、波分复用器、光纤耦合器、参考臂、样品臂、光电探测器、数据采集设备及电子计算机;所述光纤耦合器为50/50耦合器。所述参考臂包括第一准直器、平面镜及伺服电机系统,伺服电机系统包括伺服电机和传动装置,所述伺服电机通过所述传动装置带动所述平面镜移动及产生相位振荡。本发明不需要在系统中引入额外的PZT,大幅度减少了系统的成本和复杂度,且消镜像结果稳定,成倍增加了系统单次测量量程。