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层间偏移测量装置

基本信息

申请号	CN201220437854.2	申请日	-
公开（公告）号	CN202836496U	公开（公告）日	2013-03-27
申请公布号	CN202836496U	申请公布日	2013-03-27
分类号	G01B7/02(2006.01)I;G01N27/00(2006.01)I	分类	测量；测试;
发明人	钟强;吕明	申请（专利权）人	瀚宇博德科技（江阴）有限公司
代理机构	江阴市同盛专利事务所	代理人	唐纫兰
地址	214434 江苏省无锡市江阴市开发区澄江东路97号
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及一种层间偏移测量装置，其至少包含有：设于待测物上之对位靶标（10）、至少一测试探针（20）、一接地探针（30）、一输入电压（50）、一电压侦测模块（60）以及一显示模块（70），该对位靶标（10）设有与该待测物相对应之复数层体，各层体于该对位靶标处设有导电层（12），该对位靶标于导电层处设有至少一镀通孔以及一接地孔（137），该导电层系与该接地孔接触，而与该镀通孔隔离相对，该测试探针系可伸入接触对应之镀通孔，该接地探针系可伸入接触对应之接地孔，该电压侦测模块系与测试探针形成电性连接，该输入电压系与该接地探针形成电性连接，若其中有层体产生偏移，可由该电压侦测模块测得而将结果直接显示于显示模块上，以判断此待测物为良品或瑕疵品。