湿法剥离导流机构和湿法剥离装置
基本信息
| 申请号 | CN202123456413.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216980505U | 公开（公告）日 | 2022-07-15 |
| 申请公布号 | CN216980505U | 申请公布日 | 2022-07-15 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 袁晓峰 | 申请（专利权）人 | 苏州能讯高能半导体有限公司 |
| 代理机构 | 北京超凡宏宇专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 215300江苏省苏州市昆山市高新区晨丰路18号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种湿法剥离导流机构和湿法剥离装置，涉及半导体技术领域，该湿法剥离导流机构包括导流盘和导流管道，导流盘用于设置在填充有溶解液的液槽中，并位于圆片的一侧，且导流盘上开设有多个导流孔，导流管道与多个导流孔连接，并用于部分伸出液槽，以使圆片和导流盘之间的溶解液经由导流管道排出。在实际进行湿法剥离时，圆片放置在液槽中，同时导流盘设置在圆片的一侧，圆片周围的溶解液朝向导流盘的方向加速流动，使得溶解液与光刻胶的混合溶解速度加快，加快湿法剥离进程，同时由于溶解液的流动有方向性，金属薄膜被剥离后会往导流盘上靠近，不会反向粘至圆片表面，避免造成金属残留缺陷。 |
