一种用于ITO靶材冷压固定装置

基本信息

申请号 CN201822035850.1 申请日 -
公开(公告)号 CN210758405U 公开(公告)日 2020-06-16
申请公布号 CN210758405U 申请公布日 2020-06-16
分类号 B28B17/00(2006.01)I 分类 -
发明人 张玲莉;那嘉;周传水;余永强;李隽;柯尚文;康明锋;董永亮;范家伟 申请(专利权)人 广东凯盛光伏技术研究院有限公司
代理机构 广州嘉权专利商标事务所有限公司 代理人 左恒峰
地址 528137广东省佛山市三水区乐平镇齐力大道南5号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于ITO靶材冷压固定装置,包括用于将ITO靶材上下夹紧的固定板,所述固定板侧边设有固定凹槽,所述固定板上均匀排布有透压圆孔;在使用时将两块采用PVC材料的固定板分别放置于已密封包装好的ITO靶材的上方和下方,然后用皮筋夹紧夹稳,使其连成一体;再将其一齐放入冷压缸中加纯水进行冷压,透压圆孔在让冷压过程中,使水可以自由均匀地从固定板中穿过,进而将压力均匀地传递到待压ITO靶材,从而不影响冷压的效果;可使靶材结构完整性得到了很好的保护,外观上没有明显裂纹,靶材亦未出现进水现象;可大大地提高ITO靶材加工后结构的完整性,为进一步的加工带来更大的便利。