一种用于ITO靶材冷压固定装置
基本信息
申请号 | CN201822035850.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN210758405U | 公开(公告)日 | 2020-06-16 |
申请公布号 | CN210758405U | 申请公布日 | 2020-06-16 |
分类号 | B28B17/00(2006.01)I | 分类 | - |
发明人 | 张玲莉;那嘉;周传水;余永强;李隽;柯尚文;康明锋;董永亮;范家伟 | 申请(专利权)人 | 广东凯盛光伏技术研究院有限公司 |
代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 左恒峰 |
地址 | 528137广东省佛山市三水区乐平镇齐力大道南5号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种用于ITO靶材冷压固定装置,包括用于将ITO靶材上下夹紧的固定板,所述固定板侧边设有固定凹槽,所述固定板上均匀排布有透压圆孔;在使用时将两块采用PVC材料的固定板分别放置于已密封包装好的ITO靶材的上方和下方,然后用皮筋夹紧夹稳,使其连成一体;再将其一齐放入冷压缸中加纯水进行冷压,透压圆孔在让冷压过程中,使水可以自由均匀地从固定板中穿过,进而将压力均匀地传递到待压ITO靶材,从而不影响冷压的效果;可使靶材结构完整性得到了很好的保护,外观上没有明显裂纹,靶材亦未出现进水现象;可大大地提高ITO靶材加工后结构的完整性,为进一步的加工带来更大的便利。 |
