ITO平面靶材清洗固定装置
基本信息
| 申请号 | CN202021675947.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213613021U | 公开（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申请公布号 | CN213613021U | 申请公布日 | 2021-07-06 |
| 分类号 | B08B3/12;B08B13/00 | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 柯尚文;周传水;李隽;余永强 | 申请（专利权）人 | 广东凯盛光伏技术研究院有限公司 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 薛建强 |
| 地址 | 528137 广东省佛山市三水区乐平镇齐力大道南5号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种ITO平面靶材清洗固定装置，包括侧板、固定架、底杆；所述侧板采用两片且分列于两侧，所述侧板上部设有手提孔；本清洗固定装置使用时,将板状的ITO平面靶材的一端从上固定架的两根相邻的纵杆之间插入，再插入下固定架的两根相邻的纵杆之间，装载完毕后，通过手提孔，将装载有ITO平面靶材的本清洗固定装置放进超声清洗池中，浸没在清洗介质中进行清洗工序，清洗完后，ITO平面靶材表面无油渍无粉尘，无崩角，无开裂。 |
