一种用于ITO平面靶材清洗防碰撞装置
基本信息
| 申请号 | CN201920951198.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210754110U | 公开（公告）日 | 2020-06-16 |
| 申请公布号 | CN210754110U | 申请公布日 | 2020-06-16 |
| 分类号 | B08B3/12(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 柯尚文;周传水;李隽;余永强;康明锋;董永亮;范家伟 | 申请（专利权）人 | 广东凯盛光伏技术研究院有限公司 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 左恒峰 |
| 地址 | 528137广东省佛山市三水区乐平镇齐力大道南5号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于ITO平面靶材清洗防碰撞装置，将第一隔板嵌入长方体容器的两条相对应的凹槽内，使其平行长方体容器侧面。然后将第二隔板嵌入相邻两个第一隔板上的凹槽内，使其平行于长方体容器的前后面；由此将长方体容器内部空间分割成若干个小的长方体槽，最后将批量ITO平面靶材放入小长方体槽中，再把本装置浸没在清洗池内，进行超声清洗。完成超声清洗后，靶材没有发生碰撞而崩角或开裂现象，靶材表面洁净。 |
