一种用于ITO靶材清洗烘干装置
基本信息
| 申请号 | CN201920951199.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210754111U | 公开（公告）日 | 2020-06-16 |
| 申请公布号 | CN210754111U | 申请公布日 | 2020-06-16 |
| 分类号 | B08B3/12(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 柯尚文;周传水;李隽;余永强;康明锋;董永亮;范家伟 | 申请（专利权）人 | 广东凯盛光伏技术研究院有限公司 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 左恒峰 |
| 地址 | 528137广东省佛山市三水区乐平镇齐力大道南5号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于ITO靶材清洗烘干装置，本清洗烘干装置使用时，将载有ITO靶材的架子放置于水槽中，通过纯水水喉将纯水通入水槽内，启动超声振子开始清洗，清洗完成后，通过排水管将水槽内的水排尽，开启电阻加热棒进行烘干；使ITO靶材一次完成清洗烘干，消除ITO靶材在清洗干燥过程中因转移碰撞造成的残次品；省去数个水槽，缩小设备占用空间，节省设备成本，简化工艺流程，提高效率。 |
