一种脱脂-烧结一体式生产ITO靶材的方法
基本信息
| 申请号 | CN201810653327.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108863343A | 公开（公告）日 | 2021-06-08 |
| 申请公布号 | CN108863343A | 申请公布日 | 2021-06-08 |
| 分类号 | C04B35/453;C04B35/457;C04B35/622 | 分类 | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 发明人 | 周传水;彭寿;马立云;那嘉;向光;张玲莉;余永强;柯尚文;李隽;康明锋;范加伟;董永亮 | 申请（专利权）人 | 广东凯盛光伏技术研究院有限公司 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 左恒峰 |
| 地址 | 528137 广东省佛山市三水区乐平镇齐力大道南5号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种脱脂‑烧结一体式生产ITO靶材的方法，包括以下步骤：1）将ITO粉体、分散剂和水混合，进行球磨，再加入粘结剂，进行超声和真空脱泡，得到浆料；2）将浆料注入模具，进行成型，得到靶坯，脱模，对靶坯进行干燥；3）将靶坯放在脱脂‑烧结一体式炉内的承烧板上，进行程序升温和程序降温，得到ITO靶材。本发明在进行靶坯致密化的过程中，将靶坯从脱脂的最高温度直接升温进行温度更高的烧结，省略了靶坯脱脂后的冷却、转移和再升温过程，脱脂和烧结的效率显著提高，且消除了靶坯在脱脂炉和烧结炉之间转移而造成的开裂，提高了生产效益，有利于ITO靶材的大批量生产。 |
