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一种ITO靶材注浆除泡设备的中央真空系统装置

基本信息

申请号 CN201822207393.X 申请日 -
公开（公告）号 CN209937242U 公开（公告）日 2020-01-14
申请公布号 CN209937242U 申请公布日 2020-01-14
分类号 B28B15/00;B28B17/00 分类 加工水泥、黏土或石料;
发明人 周传水;李隽;余永强;柯尚文 申请（专利权）人 广东凯盛光伏技术研究院有限公司
代理机构 广州嘉权专利商标事务所有限公司 代理人 左恒峰
地址 528137 广东省佛山市三水区乐平镇齐力大道南5号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种ITO靶材注浆除泡设备的中央真空系统装置，包括多个浆料罐，所述浆料罐外设有真空管道，所述浆料罐通过气动阀连接到真空管道，所述真空管道连接有排污罐，所述排污罐通过管道连接有真空罐，所述真空罐通过管道连接有真空泵，所述真空罐上方设有压力表。真空泵将真空罐抽成近真空状态，压力表显示真空罐内的压力情况，与真空罐相连的排污罐会通过真空管道将浆料罐内的泡沫抽到排污罐内。这样通过真空管道统一将浆料罐内的泡沫抽出，不用一台浆料罐配一台真空泵，该装置结构简单、占地面积小，设备电线线路少，设备维护工作量小，有利于工业生产。