一种控制柔性线路板批次线宽差异的曝光方法
基本信息
| 申请号 | CN201911044561.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110750036B | 公开（公告）日 | 2022-05-10 |
| 申请公布号 | CN110750036B | 申请公布日 | 2022-05-10 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 叶新智;杨洁;孙彬;沈洪;李晓华 | 申请（专利权）人 | 江苏上达半导体有限公司 |
| 代理机构 | 徐州市三联专利事务所 | 代理人 | - |
| 地址 | 221300江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河路北侧、华山路西侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种控制柔性线路板批次线宽差异的曝光方法，包括以下步骤：1柔性线路板通过曝光装置时，由米数计数器计算通过的长度；2当柔性线路板通过设定的长度数值时，米数计数器将此信号反馈给主控制器；3主控制器经过处理生成新的信号传递给曝光能量控制器；4曝光能量控制器接收到来自所述主控制器的信号后，控制柔性线路板下一阶段长度的曝光光量；5循环步骤1至4，直至完成全部柔性线路板曝光工作。本发明通过控制曝光能量来减弱光刻胶扩散，从而控制因曝光到显影时间不同而产生的线路偏差。 |
