压力传感器单元以及多维压力传感器及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202011406316.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112563405B | 公开（公告）日 | 2021-08-31 |
| 申请公布号 | CN112563405B | 申请公布日 | 2021-08-31 |
| 分类号 | H01L41/113;H01L41/047;H01L41/22;H01L41/29;H01L27/20;G01L1/20;G01L9/06 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 杨睿峰;曾怀望;焦文龙;王淼;李嗣晗 | 申请（专利权）人 | 联合微电子中心有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京市汉坤律师事务所 | 代理人 | 初媛媛;吴丽丽 |
| 地址 | 401332 重庆市沙坪坝区西园一路28号附2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 公开了一种压力传感器单元以及多维压力传感器及其制造方法。该压力传感器单元包括：底电极；底电极引线，与底电极电连接；压电材料层；顶电极；顶电极引线，与顶电极电连接，其中，底电极、压电材料层和顶电极沿着压电材料层的敏感轴方向顺序堆叠，以用于感测敏感轴方向上的压力，并且其中，底电极引线和顶电极引线之一包括电阻分段和引线分段，电阻分段充当电阻式传感器，用于感测电阻分段的长度方向上的压力。 |
