阵列波导光栅及其校准系统、校准方法
基本信息
| 申请号 | CN202110366418.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113093329A | 公开（公告）日 | 2021-07-09 |
| 申请公布号 | CN113093329A | 申请公布日 | 2021-07-09 |
| 分类号 | G02B6/12（2006.01）I;G01M11/00（2006.01）I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 路侑锡;金里;冯俊波;曹国威;张业斌 | 申请（专利权）人 | 联合微电子中心有限责任公司 |
| 代理机构 | 上海盈盛知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 孙佳胤 |
| 地址 | 401332重庆市沙坪坝区西园一路28号附2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种阵列波导光栅及其校准系统、校准方法，所述阵列波导光栅包括：光输入模块；阵列波导，连接所述光输入模块，将输入光在阵列波导输出端形成一个光栅阵列；移相器阵列，所述移相器阵列位于所述阵列波导上，用于分别调节阵列波导里面每一个通道光的相位；一输出模块，连接所述阵列波导，用于输出光波。本发明通过加入移相器阵列解决了阵列波导光栅由于制造工艺的原因所造成的相位噪声所带来的中心频率和通道间隔离度不符合设计的问题，实现了阵列波导光栅的阵列波导的相位可调，降低通道间的串扰，提升了阵列波导光栅的性能。 |
