CMOS图像传感器、干涉型滤光片及其制备方法

基本信息

申请号 CN202110343446.4 申请日 -
公开(公告)号 CN113093322A 公开(公告)日 2021-07-09
申请公布号 CN113093322A 申请公布日 2021-07-09
分类号 G02B5/28(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;H04N5/374(2011.01)I 分类 光学;
发明人 袁恺;陈世杰 申请(专利权)人 联合微电子中心有限责任公司
代理机构 北京北汇律师事务所 代理人 马亚坤
地址 401332重庆市沙坪坝区西园一路28号附2号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种CMOS图像传感器、干涉型滤光片及其制备方法,其中,该干涉型滤光包括:第一材料层,波长调节层,第二材料层;干涉型滤光片底层设置有第一材料层;该第一材料层上方设置有波长调节层,该波长调节层用于抑制由于光的入射角不同产生的波长蓝移;该波长调节层上方设置有第二材料层。解决了现有技术中在CMOS图像传感器的边缘部分,透过波长发生明显的蓝移的问题,进而提高了多波段成像质量。