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排气式矩形工作台

基本信息

申请号 CN201821566707.9 申请日 -
公开（公告）号 CN209007492U 公开（公告）日 2019-06-21
申请公布号 CN209007492U 申请公布日 2019-06-21
分类号 B25H1/00（2006.01）I; B25B11/00（2006.01）I 分类 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手;
发明人 殷泽安; 刘操; 曹志彬 申请（专利权）人 东莞市译码半导体有限公司
代理机构 北京易光知识产权代理有限公司 代理人 东莞市译码半导体有限公司
地址 523000 广东省东莞市常平镇卢屋村创业二路3号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种排气式矩形工作台，包括工作台本体，所述工作台本体的横截面呈矩形状，工作台本体中开有若干第一轴向排气槽及第二轴向排气槽，第一轴向排气槽与第二轴向排气槽相互垂直交叉，工作台本体上开有一排气孔及多个放电通气孔，排气孔、多个放电通气孔均分别设置于第一轴向排气槽与第二轴向排气槽交叉处，工作台本体的中部设有连接头，连接头上设有多个通孔，通孔与放电通气孔相贯通。本实用新型工作台本体中的连接头与抽气装置连接，抽气装置开启使连接头中的通孔与工作台本体的放电通气孔、第一轴向排气槽、第二轴向排气槽、矩形排气槽形成气道，将半导体多晶硅芯片与工作台本体之间的空气排空，利用气压差便于二次加工。