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一种WAFER减薄机专用进出料提篮

基本信息

申请号 CN201821567593.X 申请日 -
公开（公告）号 CN208908216U 公开（公告）日 2019-05-28
申请公布号 CN208908216U 申请公布日 2019-05-28
分类号 H01L21/673（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 殷泽安; 刘操; 曹志彬 申请（专利权）人 东莞市译码半导体有限公司
代理机构 北京易光知识产权代理有限公司 代理人 东莞市译码半导体有限公司
地址 523000 广东省东莞市常平镇卢屋村创业二路3号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种WAFER减薄机专用进出料提篮，包括提篮主体，所述提篮主体左右两个面设置有两组把手，所述提篮主体左右两组把手的下面设置有限位块，所述提篮主体的内部设置有提篮单片，所述提篮单片中部设置有凸起，所述提篮主体下端设置有底座，所述底座设置有两组对称的第一长方体支撑座，所述底座上表面设置有第二长方体支撑座、U形支撑座和第三长方体底座，改善后提篮增加了单片WAFER间隙，降低作业员取/放料操作难度，改善后提篮间接性增加了单片及片与片WAFER间隙，对进/出料机械手臂定位精度要求变低，以及对WAFER变型适应能力增强，极大程度的避免了WAFER破片品质风险。