激光器芯片的自动化测试装置
基本信息
申请号 | CN202210305776.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114675164A | 公开(公告)日 | 2022-06-28 |
申请公布号 | CN114675164A | 申请公布日 | 2022-06-28 |
分类号 | G01R31/28(2006.01)I;G01R1/04(2006.01)I;G01R1/067(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 黄建军;吴永红;赵山;胡海洋 | 申请(专利权)人 | 苏州联讯仪器股份有限公司 |
代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人 | - |
地址 | 215011江苏省苏州市高新区湘江路1508号5幢 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开一种激光器芯片的自动化测试装置,其测试探针组件包括:与驱动支架连接的本体、支撑板、用于与待测试芯片接触的探针和动点接触探头,所述支撑板一端安装有一悬臂,另一端安装有所述动点接触探头,所述本体下端面一侧设置有一位于动点接触探头上部并与其对应的静点接触探头,所述悬臂远离支撑板一端固定有一安装有所述探针的探针座,所述探针座包括基座和夹片,所述探针位于基座和夹片之间,所述探针与支撑板的夹角为30°。本发明提高了检测数据的稳定性、重复性、可比较性和一致性。 |
