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高频测试用探针结构

基本信息

申请号 CN202210367993.0 申请日 -
公开（公告）号 CN114740237A 公开（公告）日 2022-07-12
申请公布号 CN114740237A 申请公布日 2022-07-12
分类号 G01R1/067（2006.01）I;G01R31/26（2014.01）I 分类 测量；测试;
发明人 黄建军;吴永红;赵山;胡海洋 申请（专利权）人 苏州联讯仪器股份有限公司
代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司 代理人 -
地址 215011江苏省苏州市高新区湘江路1508号5幢
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种高频测试用探针结构，包括本体、位于本体下方的支撑板、用于与待测试芯片接触的探针和动点接触探头，当探针与待测试芯片接触时，动点接触探头随支撑板转动远离静点接触探头，动、静点接触探头由相互接触的初始状态变为相互分离状态，所述支撑板中部与本体之间通过一竖直设置的第二弹性件连接，一垂直于支撑板长度方向的第一销轴通过一转接座安装于所述支撑板上方位于探针与第二弹性件之间的区域，一处于拉伸状态的第一弹性件的下端与第一销轴连接，所述第一弹性件的上端与本体内并位于第二销轴、第三销轴上方的第四销轴连接。本发明解决了由于探针台的疲劳性导致的长期使用过程中测试数据不稳定、不一致的问题。