首页/ 昆山米克诺精密机械有限公司/ 专利详情

一种LED外延用石墨托盘

基本信息

申请号 CN201821567570.9 申请日 -
公开（公告）号 CN208873707U 公开（公告）日 2019-05-17
申请公布号 CN208873707U 申请公布日 2019-05-17
分类号 H01L21/673（2006.01）I; H01L33/00（2010.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 凌杰 申请（专利权）人 昆山米克诺精密机械有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 215300 江苏省苏州市昆山市花桥经济开发区横塘路56-1号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种LED外延用石墨托盘，包括底板，所述底板的顶部转动连接有支撑杆，所述支撑杆的顶部固定安装有石墨托盘本体，所述石墨托盘本体的顶部以石墨托盘本体的中心为圆心呈圆形开设有多个凹槽，所述凹槽的底部内壁上固定安装有第一齿条，所述凹槽的一侧内壁上开设有矩形槽。本实用新型结构简单，向上拉动第二弧形板使第二齿条脱离第一齿条，进而可以使第二弧形板移动至所需要的位置，另外耐高温弹簧片始终推着第二齿条，可以使第二齿条更紧固的卡在第一齿条上，使得可以调整第一弧形板和第二弧形板的间距，进而可以承载多种尺寸的晶圆，扩大了适用范围，且石墨托盘本体可以进行旋转，便于操作人员上下料，使用方便。