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一种用于太阳能电池生产PECVD设备的石墨框

基本信息

申请号	CN201821568470.8	申请日	-
公开（公告）号	CN208869658U	公开（公告）日	2019-05-17
申请公布号	CN208869658U	申请公布日	2019-05-17
分类号	C23C16/458（2006.01）I; C23C16/513（2006.01）I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	凌杰	申请（专利权）人	昆山米克诺精密机械有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	215300 江苏省苏州市昆山市花桥经济开发区横塘路56-1号
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种用于太阳能电池生产PECVD设备的石墨框，包括石墨框本体和安装于石墨框本体底部的设备安装台，所述石墨框本体的两侧底部均固定连接有C字型导轨，所述设备安装台的两侧顶部均固定连接有导柱，且导柱的截面为半圆形结构，所述石墨框本体通过C字型导轨滑动安装在设备安装台上的导柱上，且C字型导轨靠近设备安装台的一侧底部与设备安装台滑动连接。本实用新型中，通过弹性补偿装置，可以使锁紧螺杆与导柱上的螺纹槽螺纹咬合的更紧密，不易出现螺纹滑丝的情况，有效的增加了C字型导轨与导柱之间安装的牢固性，从而使得石墨框本体能够稳固的安装在设备安装台上，不易出现松动的情况，安装后能够保证石墨框本体与设备的精密吻合。