一种高性能管式PECVD石墨舟
基本信息
| 申请号 | CN201821527833.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208869659U | 公开（公告）日 | 2019-05-17 |
| 申请公布号 | CN208869659U | 申请公布日 | 2019-05-17 |
| 分类号 | C23C16/513（2006.01）I; C23C16/458（2006.01）I; H01L21/673（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 凌杰 | 申请（专利权）人 | 昆山米克诺精密机械有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215300 江苏省苏州市昆山市花桥经济开发区横塘路56-1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种高性能管式PECVD石墨舟，该种实用新型设计合理，通过利用该管式石墨舟作为载体进行硅片的生产，该管式石墨舟通过第一搭建块、第二搭建块和第三搭建块拼接而成，第一搭建块、第二搭建块和第三搭建块拼接而成的石墨舟又均为精选4ppm纯度石墨材料制作而成，从而使得该石墨舟具有极好的抗弯强度，良好的电性能及稳定性，保证各部件的加工精度，且第一搭建块、第二搭建块和第三搭建块拼接而成的石墨舟在拆卸或装配时更加方便，该石墨方舟寿命长、耐高温、化学性质稳定、润滑度高和导电性好，从而利用该石墨舟生产产品质量良好，利用石墨舟作为硅片的载体，可见该实用新型，功能实用，适合广泛推广。 |
