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一种筒状多晶硅铸锭石墨热场

基本信息

申请号 CN201821586055.5 申请日 -
公开（公告）号 CN208869720U 公开（公告）日 2019-05-17
申请公布号 CN208869720U 申请公布日 2019-05-17
分类号 C30B28/06（2006.01）I; C30B29/06（2006.01）I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 凌杰 申请（专利权）人 昆山米克诺精密机械有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 215300 江苏省苏州市昆山市花桥经济开发区横塘路56-1号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型一种筒状多晶硅铸锭石墨热场，包括炉体、反射圈、加热器和密封板，所述炉体的顶端设置有上封盖，所述炉体内部底端的中间位置处固定安装有坩埚轴，所述单层保温罩的外壁均匀设置有散热口，所述单层保温罩的内侧设置有加热器，所述加热器正面的两侧皆设置有电极块，所述坩埚轴的顶端设置有石墨托碗，所述石墨托碗的内部设置有石英坩埚，所述散热口的内部设置有密封板，且散热口与密封板之间设置有收纳管，且收纳管的内部安装有连接架和热膨胀块。本实用新型通过采用进口等静压石墨做加热器，含碳量高于99.9％，加热效果优良，加热效果好，通过设置多层次保温结构，加强保温效果，通过自动进行降温，形成温差，加快铸锭速度。