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一种离子注入和等离子蚀刻用石墨挡板

基本信息

申请号 CN201821586312.5 申请日 -
公开（公告）号 CN209133450U 公开（公告）日 2019-07-19
申请公布号 CN209133450U 申请公布日 2019-07-19
分类号 H01J37/30;H01J37/317;H01J37/32 分类 基本电气元件;
发明人 凌杰 申请（专利权）人 昆山米克诺精密机械有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 215300 江苏省苏州市昆山市花桥经济开发区横塘路56-1号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种离子注入和等离子蚀刻用石墨挡板，包括装置主体、承接板、螺帽槽和卡槽，所述装置主体的底端安装有承接板，且承接板靠近装置主体一端的四个拐角处皆固定有插块，所述装置主体上设置有与插块相互配合的插槽，且插槽内侧的装置主体上皆开设有螺帽槽，所述螺帽槽内侧的装置主体上设置有轻薄钢板。该离子注入和等离子蚀刻用石墨挡板抗腐蚀性很好，防护屏蔽效果更佳，使用寿命更长，不会使金属部件受到较高的磨损，并且该装置安装拆卸方便快捷，同时对紧固螺栓的密封效果较好，有效的防止紧固螺栓被锈蚀，使得装置更加牢靠，同时该装置具有很好的缓冲结构，能够减轻冲击力。