一种高频等离子体在冷坩埚中启动熔化的装置

基本信息

申请号 CN201721394976.7 申请日 -
公开(公告)号 CN207317517U 公开(公告)日 2018-05-04
申请公布号 CN207317517U 申请公布日 2018-05-04
分类号 F27B14/06;F27B14/14 分类 炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉〔4〕;
发明人 唐皇哉;胡树金;张清勇 申请(专利权)人 睿为电子材料(天津)有限公司
代理机构 天津市鼎和专利商标代理有限公司 代理人 睿为电子材料(天津)有限公司
地址 300382 天津市西青区学府工业区学府西路2号东区D6号厂房A座一层
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种高频等离子体在冷坩埚中启动熔化的装置,该装置包括冷坩埚,沿冷坩埚周向设置的电磁感应线圈,感应等离子体炬,沿感应等离子体炬环绕设置的等离子体感应线圈,氩气供气系统和升降系统;感应等离子体炬位于冷坩埚的正上方,感应等离子体炬和等离子体感应线圈均连接于控制感应等离子体炬升降的升降系统上,感应等离子体炬的上端设置氩气通入口,氩气通入口与氩气供气系统连通。通过使氩气电离,形成纯净的等离子体火焰,使粉体熔化,同时通过电磁感应线圈产生的磁场对原料粉体进行感应加热,完成冷坩埚的启动熔化过程;使得启动熔化过程迅速,且该感应等离子体没有任何电极,保证了启动熔化过程无污染。