掩膜板及其制作方法、OLED显示基板的制作方法

基本信息

申请号 CN201910690971.6 申请日 -
公开(公告)号 CN110453173B 公开(公告)日 2021-09-21
申请公布号 CN110453173B 申请公布日 2021-09-21
分类号 C23C14/04(2006.01)I;C23C14/12(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;H01L51/00(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 金熙哲;陈腾;孟维欣 申请(专利权)人 重庆京东方显示技术有限公司
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 代理人 许静;胡影
地址 100015北京市朝阳区酒仙桥路10号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种掩膜板及其制作方法、OLED显示基板的制作方法,该掩膜板包括:掩膜板本体,所述掩膜板本体上开设有多个蒸镀孔;多个阻挡环,设置于所述掩膜板本体上,与所述多个蒸镀孔一一对应,围设在对应的所述蒸镀孔的周围。当采用本发明的掩膜板向待蒸镀基板蒸镀有机发光材料时,在蒸镀过程中,从蒸镀孔内通过的有机发光材料会被阻挡环阻挡,减少或者避免有机发光材料向蒸镀孔正对区域以外的区域扩散,减少了蒸镀阴影的面积,从而可避免相邻的不同颜色的有机发光层交叉污染。